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SU8600系列

發布:帝帕特時(shí)間:2022/3/8 18:56:58

超高分辨率場發射掃描電子(zǐ)顯微鏡SU8600系列


随着快速數據采集和數據處理技術的發展,電子(zǐ)顯微鏡進銀拍入了一個不(bù)僅重視數據質量,而且重視其采集過程的時(shí)船我代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、電師大(dà)束流分析及長(cháng)時(s化近hí)間穩定運行的冷場成像技術,同時(sh山答í)還大(dà)大(dà)提升了高通(tōng)量、自動數據獲跳爸取能力。

特點

超高分辨成像

日立的高亮度電子(zǐ)源可保證了即使在超低(dī)着陸電壓下,也可獲得(de著下)超高分辨的圖像。

   

0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實店空例。左圖為(wèi)顆粒整體的形貌,右圖為(wèi志站)放大(dà)圖像,顆粒表面細微的台階結構清晰可見。低坐兵(dī)電壓觀察對于減少電子(zǐ)束損傷和獲取表下學面形狀信息較為(wèi)有效。

高襯度的低(dī)加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;
在低(dī)加速電壓條件下,背散射電子(zǐ)信号能夠明顯的顯示出氧有數化矽層和氮化矽層的襯度差别。


3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)

快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子(zǐ)探測器明和(qì)(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器(qì),即使掃描時(shí)間不(bù)到1秒,也仍然頻數可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.


5納米制程SRAM的内部結構觀察 (加速電壓:30kV,掃描時(畫路shí)間<1秒)

先進的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工(g個見ōng)作流程。EM Flow Creator将不(bù)同的家上SEM功能定義為(wèi)圖形化的模塊,如(rú)設置放大(dà)倍率、移動算站樣品位置、調節焦距和明暗(àn)對比度等。用戶可以通(tōng)過簡單的高校鼠标拖拽,将這些模塊按邏輯順序組成一個工(gōng)作程序。經過調試和确認後在電,該程序便可以在每次調用時(shí)自動獲得(de)高質量、重現性好習站(hǎo)的圖像數據。

 

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器(qì),提供靈活、高效的操作空間。6通(tōng)道同時(shí)顯示與保存,實現快速的多信号有視觀測與采集。

 

1,2,4 或6通(tōng)道信号可在同一個顯示器(qì計民)上同時(shí)顯示,可切換内容包括SEM各探測器(qì)以及雜女樣品室相機和導航相機。可以通(tōng)過使草睡用兩個顯示器(qì)來擴展工(gōng)作空間,可定制的用戶界面以請唱提高工(gōng)作效率。


規格: